HBM KGSD テストシステム
HBM ダイハンドラ【MAT6100DH】
-
全自動ハンドリング
KGSD ダイのピック、搬送、位置決め、プロービング、アンロードを自動化
-
フレキシブルなビニング機能
OK／NG 選別用のシングル入力・シングル出力（オプションで2出力）に対応
オープンカセットまたは FOUP に対応（カスタマイズ可能）
ウェーハフレーム上でのソフトビニングに対応
-
パラレルデュアルチャック設計
一方のチャックでテスト中に、もう一方のチャックでロード・ダイアライメントを実行
-
高精度位置決め
最大64／128ダイに対応（カスタマイズ可能）
ダイ位置決め精度：±5 μm 以下
プロービング精度：±6.5 μm 以下
チャック平面度：20 μm 未満（トライ・テンパチャー対応）
-
3温度テスト
温度範囲：-40°C～125°C（±2°C）
64ゾーンの独立温度制御に対応
-
高スループット
UPH >800pcs（128サイト並列テスト時、テスターのテスト時間を除く）
-
テスター互換性
T5833、V93K などの主要 ATE に対応可能
-
自動プローブカード交換／クリーニング
セットアップ時間を短縮し、生産性を向上
